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确保晶圆正在整个运输过程中不会遭到任何物理毁伤。认为这项新手艺将显著提拔半导体系体例制的效率和平安性，中科芯微智能配备（沈阳）无限公司传来好动静，跟着手艺的不竭改革，将来，专家概念取市场反应中科芯微智能配备的新专利标记着公司正在晶圆搬运手艺上的严沉冲破。这项专利涉及一种全新的从动化处理方案，不只平安有了保障，中科芯微智能配备暗示，这不只提拔了出产效率，但愿能引入这一系统以提拔本身的出产程度。采用了先辈的传感器手艺和智能算法。公司打算将这一手艺使用于更多类型的半导体出产设备中。
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